мікрорентгеноспектральний аналіз

ru\ \ [lang name="Russian"]микрорентгеноспеюральный анализ

en\ \ [lang name="English"]electron-probe microanalysis, X-ray microanalysis

de\ \ [lang name="German"]Elektronenstrahlmikroanalyse

fr\ \ \ [lang name="French"]microanalyse par sonde électronique

елементний аналіз малого об'єму зразка, який проводять з використанням характеристичного спектра рентгенівського випромінювання, що збуджується в зразку електронним зондом